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產品介紹

為您提供高扭矩精密減速機及高承載線性傳動系統

Nexa EFEM 晶圓傳送系統

半導體次系統

Nexa EFEM 晶圓傳送系統

EFEM（設備前端模組）整合了真空/大氣晶圓傳送機器人，為半導體製造提供高吞吐量和符合無塵室要求的晶圓傳送。